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總部位于香港的Jade Bird Display Ltd（JBD）最近展示了2.5微米像素間距有源矩陣micro LED（AMuLED）顯示面板，該公司認(rèn)為將會(huì)打破micro LED行業(yè)的紀(jì)錄。

2.5微米AMuLED顯示面板由JBD專有的混合集成技術(shù)制造。在混合集成工藝中，首先在MOCVD中在其襯底（例如藍(lán)寶石和GaAs）上生長超薄InGaN（用于藍(lán)色和綠色）和AlInGaP（用于紅色）外延層。然后將完整的外延層片與襯底晶片分離，并在低于350℃的溫度下粘合到CMOS晶片上。這種晶圓級外延轉(zhuǎn)移消除了對準(zhǔn)鍵合的需要，并顯著提高了像素產(chǎn)量，均勻性和制造產(chǎn)量。

在外延層轉(zhuǎn)移之后，執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)光刻和蝕刻步驟以將薄外延層薄片轉(zhuǎn)換成CMOS背板晶片上的發(fā)射器陣列。隨后通過光刻，鈍化和金屬化循環(huán)制作電接觸。

在將晶片切割成芯片之前，最終在單片晶片級刻度上在發(fā)射器上制造諸如微透鏡和反射器陣列的光學(xué)元件。為了實(shí)現(xiàn)所需的光準(zhǔn)直，發(fā)射器臺(tái)面直徑被設(shè)計(jì)為像素間距的大約三分之一。因此，對于2.5μm像素間距，發(fā)射器臺(tái)面直徑小于1微米。