近日，中電熊貓15.6吋BCE面板成功點(diǎn)亮。7月17日，15.6吋BCE面板在中電熊貓8.5代線(xiàn)成功點(diǎn)亮，中電熊貓2017年重點(diǎn)研發(fā)項(xiàng)目“非晶態(tài)IGZO BCE制程量產(chǎn)工藝研究”取得突破性進(jìn)展！這標(biāo)志著中電熊貓?jiān)?/FONT>IGZO技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位進(jìn)一步確立，必將有力帶動(dòng)面板產(chǎn)品的高端化，對(duì)中國(guó)電子、中電熊貓平板顯示產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展具有重要意義。
BCE結(jié)構(gòu)（即背溝道蝕刻型結(jié)構(gòu)）是IGZO TFT器件的一種結(jié)構(gòu)類(lèi)型。目前，中電熊貓8.5代線(xiàn)IGZO制程技術(shù)采用的是TFTESL結(jié)構(gòu)（即刻蝕阻擋型結(jié)構(gòu)），器件所占版圖空間較大，不利于實(shí)現(xiàn)更窄的邊框設(shè)計(jì)和更高的開(kāi)口率；而BCE結(jié)構(gòu)具有光刻次數(shù)少、器件小型化、制造成本低等優(yōu)點(diǎn),其技術(shù)開(kāi)發(fā)量產(chǎn)有利于降低產(chǎn)品成本、實(shí)現(xiàn)高端產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、增強(qiáng)IGZO技術(shù)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
此次15.6吋BCE面板成功點(diǎn)亮，標(biāo)志著中電熊貓8.5代線(xiàn)IGZOTFT器件從ESL結(jié)構(gòu)向BCE結(jié)構(gòu)的重大轉(zhuǎn)變，朝著IGZO BCE制程量產(chǎn)邁出了重要一步，將助推中電熊貓產(chǎn)品向更高分辨率的高端產(chǎn)品轉(zhuǎn)型。
今年2月起，中電熊貓正式啟動(dòng)“非晶態(tài)IGZO BCE制程量產(chǎn)工藝研究”項(xiàng)目，組建項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)，開(kāi)展項(xiàng)目攻關(guān)。項(xiàng)目實(shí)行分階段閉環(huán)管理，定期開(kāi)展階段性成果測(cè)試與評(píng)價(jià)，實(shí)時(shí)監(jiān)控項(xiàng)目進(jìn)度和質(zhì)量，先后解決了BCE制程中IGZO薄膜易腐蝕等關(guān)鍵性難題，完成了新靶材規(guī)格確認(rèn)、新銅酸燒杯試驗(yàn)、mask設(shè)計(jì)、試生產(chǎn)等一系列工作，并于7月17日首次試做即成功點(diǎn)亮， BCE工藝的優(yōu)化工作也隨后完成。
南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司成立于2009年8月，總投資138億元，注冊(cè)資本48億元，中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司（CEC）占股19%；中電熊貓信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司（中電熊貓，CEC占股70%）占股51%；南京新港開(kāi)發(fā)總公司占股18.8%；南京新型工業(yè)化投資（集團(tuán)）有限公司占股11.2%。
六代線(xiàn)項(xiàng)目是CEC、中電熊貓和南京市貫徹落實(shí)國(guó)家電子信息產(chǎn)業(yè)振興規(guī)劃、實(shí)現(xiàn)彩電業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的戰(zhàn)略舉措，是我國(guó)大陸引進(jìn)的第一條電視用液晶面板生產(chǎn)線(xiàn)，也是迄今世界上技術(shù)最先進(jìn)的六代液晶面板生產(chǎn)線(xiàn)。為保障六代線(xiàn)項(xiàng)目的全球競(jìng)爭(zhēng)力，六代線(xiàn)項(xiàng)目全面導(dǎo)入了夏普公司G8、G10世界最新技術(shù)，具有技術(shù)先進(jìn)、專(zhuān)利保障、投資節(jié)約、產(chǎn)業(yè)鏈垂直整合、技術(shù)再創(chuàng)新等方面優(yōu)勢(shì)。項(xiàng)目于2009年11月1日正式進(jìn)行樁基工程，2011年3月底建成投產(chǎn)。經(jīng)過(guò)五個(gè)多月的生產(chǎn)爬坡，六代線(xiàn)項(xiàng)目所產(chǎn)32寸電視面板達(dá)到60K產(chǎn)能和90%良品率，12月實(shí)現(xiàn)80K產(chǎn)能和良品率93%的目標(biāo)，產(chǎn)能和良品率爬坡速度均達(dá)到國(guó)際一流水平。
